
PVAスポンジの持つ特性を利用した精密洗浄用ブラシでワークにダメージを与えず効果的にパーティクルを除去します。しかも自己発塵性がありません。
いづれも二次的洗浄(C処理・UC処理)によりニーズに応じたクリーンレベルに対応可能です。
① ロールタイプ
表面がフラットなロール状のスポンジです。
② エンボス(イボイボ)タイプ
表面に突起を持つロール状のスポンジです。
③ カップ・小ローラータイプ
ニーズに応じ円盤状・円筒状に加工したPVAスポンジです。。
◎ 各タイプのサイズ・気孔サイズについてはお問合せ下さい。
主な使用用途
- CMP後の洗浄
液晶パネル・カラーフィルターの洗浄
ハードディスク・シリコンウエハ等各種基板洗浄
フォトマスクの洗浄